FinFET achievement : optimum e-beam ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
FinFET achievement : optimum e-beam lithography to etch dense silicon fins networks
Author(s) :
Fruleux, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Penaud, J. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Penaud, J. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]

Larrieu, G. [Auteur]
Conference title :
MIGAS International Summer School on Advanced Microelectronics, MIGAS'04
City :
Autrans
Country :
France
Start date of the conference :
2004
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :