Boron migration length in silicon : molecular ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Boron migration length in silicon : molecular dynamics versus experiments
Auteur(s) :
Cuny, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Krzeminski, Christophe [Auteur]
Cleri, Fabrizio [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Krzeminski, Christophe [Auteur]
Cleri, Fabrizio [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2006, Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication
Ville :
Moscone West, San-Franscico, CA
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :