Boron migration length in silicon : molecular ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Boron migration length in silicon : molecular dynamics versus experiments
Author(s) :
Cuny, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Krzeminski, Christophe [Auteur]
Cleri, Fabrizio [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lampin, E. [Auteur]
Krzeminski, Christophe [Auteur]

Cleri, Fabrizio [Auteur]

Conference title :
Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2006, Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication
City :
Moscone West, San-Franscico, CA
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2006
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :