Iridium silicide : a promising electrode ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Iridium silicide : a promising electrode for metallic source/drain in decananometer MOSFETs
Auteur(s) :
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Wallart, Xavier [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Titre de l’ouvrage :
Transactions of the Electrochemical Society, 3
Éditeur :
The Electrochemical Society Inc, Pennington, NJ, USA
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :