Mise en œuvre de l'épitaxie par jets ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Mise en œuvre de l'épitaxie par jets moléculaires pour la synthèse de diamant monocristallin
Auteur(s) :
Gehin, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2004
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :