Title :

Influence of orientation, thickness and Nb doping on the structural, microstructural and electrical properties of PZT thin films

Author(s) :

Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Haccart, T. [Auteur]

Scientific editor(s) :

REMIENS D.

Book title :

Recent research developments in piezoelectric materials for macro/micro systems

Publisher :

Research Signpost, Kerala, India

Publication date :

2003

Language :

Anglais

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Comment :

ISBN 81-271-0020-X

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL