Micromachined actuators for friction driven ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Micromachined actuators for friction driven linear micro-motors
Author(s) :
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Collard, D. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the Fifth International Symposium on Linear Drive for Industry Applications, LDIA 2005
City :
Hyogo
Country :
Japon
Start date of the conference :
2005
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :