Methyl radical beam sources for ultra high ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Methyl radical beam sources for ultra high vacuum applications
Auteur(s) :
Gehin, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]
Vignaud, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]
Vignaud, Dominique [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 10th International Workshop on Surface and Bulk Defects in CVD Diamond Films
Ville :
Hasselt
Pays :
Belgique
Date de début de la manifestation scientifique :
2005
Date de publication :
2005
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :