Damaging process determination
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Damaging process determination
Auteur(s) :
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Symposium on Mechanical Reliability of Silicon MEMS – Recent progress and further requirements
Ville :
Halle Saale
Pays :
Allemagne
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Date de publication :
2006
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :