Fabrication and characterization of 1.1 ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1063/1.1929873
Title :
Fabrication and characterization of 1.1 GHz blade nanoelectromechanical resonator
Author(s) :
Agache, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fujita, Hiroyuki [Auteur]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
213104-1-3
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2005
ISSN :
0003-6951
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
An electromechanical resonator based on a blade geometry is proposed in this letter. This particular geometry allows self-alignment of the mechanical resonator structure to its lateral electrodes while achieving high ...
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Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL