Tunable passband T-filter electrostatically ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, A. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Journal title :
Sensors and Actuators A: Physical
Pages :
115-120
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0924-4247
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL