Tunable passband T-filter electrostatically ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators
Auteur(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Titre de la revue :
Sensors and Actuators A: Physical
Pagination :
115-120
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2005
ISSN :
0924-4247
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :