Coplanar waveguides on dielectric membranes ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate
Auteur(s) :
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Helal, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanbesien, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Helal, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanbesien, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Electronics Letters
Pagination :
821-822
Éditeur :
IET
Date de publication :
1996
ISSN :
0013-5194
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Coplanar waveguides
Transmission lines
Transmission lines
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Autre
Résumé en anglais : [en]
GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several ...
Lire la suite >GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.Lire moins >
Lire la suite >GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
P. Salzenstein, O. Dupuis, M. Hélal, E. Lheurette, O. Vanbésien, P. Mounaix and D. Lippens, "Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate", Electronics Letters, 25th April 1996, 32, N°9, pp. 821-82
Source :
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