Theoretical calculation of the acoustic ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Titre :
Theoretical calculation of the acoustic force on a patterned silicon wafer during megasonic cleaning
Auteur(s) :
Vasseur, Jérôme [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Deymier, P. [Auteur]
Khelif, A. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Djafari-Rouhani, Bahram [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vasseur, J. [Auteur]
Génie industriel alimentaire [GENIAL]
Raghavan, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Deymier, P. [Auteur]
Khelif, A. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Djafari-Rouhani, Bahram [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vasseur, J. [Auteur]
Génie industriel alimentaire [GENIAL]
Raghavan, S. [Auteur]
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics
Pagination :
2423-2429
Éditeur :
American Institute of Physics
Date de publication :
2000-09
ISSN :
0021-8979
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Physique [physics]
Physique [physics]
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :