Demonstrating full integration process for ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Demonstrating full integration process for electroactive polymer microtransducers to realize soft microchips
Auteur(s) :
Seurre, Lauréline [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rohtlaid, Kätlin [Auteur]
Nguyen, Giao T. M. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ghenna, Sofiane [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Grondel, Sebastien [Auteur]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, Frederic [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Cagneau, Barthelemy [Auteur]
Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes de Versailles [LISV]
Plesse, Cedric [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Cattan, Eric [Auteur correspondant]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rohtlaid, Kätlin [Auteur]
Nguyen, Giao T. M. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ghenna, Sofiane [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Grondel, Sebastien [Auteur]
INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France [INSA Hauts-De-France]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, Frederic [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Cagneau, Barthelemy [Auteur]
Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes de Versailles [LISV]
Plesse, Cedric [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Cattan, Eric [Auteur correspondant]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Ville :
Vancouver
Pays :
Canada
Date de début de la manifestation scientifique :
2020-01-18
Titre de l’ouvrage :
33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Éditeur :
IEEE
Date de publication :
2020
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Polymeric microtransducer
flexible microchip
electronically conducting polymer
PEDOT:PSS
flexible microchip
electronically conducting polymer
PEDOT:PSS
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Résumé en anglais : [en]
Actuation and sensing with electroactive polymers should be a chance for flexible MEMS but their micromachining and integration are still not mature. Some innovative materials and microfabrication processes are still ...
Lire la suite >Actuation and sensing with electroactive polymers should be a chance for flexible MEMS but their micromachining and integration are still not mature. Some innovative materials and microfabrication processes are still expected. In this paper, a first full elaboration of polymeric microtransducers (MTs) including integration and operation has been described. The fabrication process relies on commercially available poly(3,4-ethyledioxy-thiophene): poly(styrene sulfonate) (PEDOT:PSS) conductive ink, onto flexible SU-8 photoresist microchip. Batch-fabrication of complex flexible monolithic units comprising individually addressable MTs of different shapes, is demonstrated. The resulting polymeric MTs show both very promising bending actuation and strain sensing properties in open-air. Remarkably, the microfabrication process did not impact the performances compared to material fabricated with laser cutting. This work paves the way for flexible MEMS development for soft microrobotics, microfluidics in medical and spatial applications.Lire moins >
Lire la suite >Actuation and sensing with electroactive polymers should be a chance for flexible MEMS but their micromachining and integration are still not mature. Some innovative materials and microfabrication processes are still expected. In this paper, a first full elaboration of polymeric microtransducers (MTs) including integration and operation has been described. The fabrication process relies on commercially available poly(3,4-ethyledioxy-thiophene): poly(styrene sulfonate) (PEDOT:PSS) conductive ink, onto flexible SU-8 photoresist microchip. Batch-fabrication of complex flexible monolithic units comprising individually addressable MTs of different shapes, is demonstrated. The resulting polymeric MTs show both very promising bending actuation and strain sensing properties in open-air. Remarkably, the microfabrication process did not impact the performances compared to material fabricated with laser cutting. This work paves the way for flexible MEMS development for soft microrobotics, microfluidics in medical and spatial applications.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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