Metal/insulator/semiconductor contacts for ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Metal/insulator/semiconductor contacts for ultimately scaled CMOS nodes: projected benefits and remaining challenges
Auteur(s) :
Borrel, Julien [Auteur correspondant]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
Hutin, Louis [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Grampeix, Helen [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Nolot, Emmanuel [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Tessaire, Magali [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Rodriguez, Guillaume [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Morand, Yves [Auteur]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
Nemouchi, Fabrice [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Gregoire, Magali [Auteur]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vinet, Maud [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
Hutin, Louis [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Grampeix, Helen [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Nolot, Emmanuel [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Tessaire, Magali [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Rodriguez, Guillaume [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Morand, Yves [Auteur]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
Nemouchi, Fabrice [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Gregoire, Magali [Auteur]
STMicroelectronics [Grenoble] [ST-GRENOBLE]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vinet, Maud [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :
Jiang, YL
Qu, XP
Ru, GP
Li, BZ
Qu, XP
Ru, GP
Li, BZ
Titre de la manifestation scientifique :
IWJT 2016 - 16th International Workshop on Junction Technology
Ville :
Shanghai
Pays :
Chine
Date de début de la manifestation scientifique :
2016-05-09
Titre de l’ouvrage :
16th International Workshop on Junction Technology (IWJT), ISBN (Print): 978-1-4673-9966-1; ISBN (Online): 978-1-4673-9965-4
Éditeur :
IEEE
Date de publication :
2016
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
In this paper, some key fundamental aspects of Metal / Insulator / Semiconductor contacts as well as practical issues occurring with their implementation are reviewed in order to fully comprehend the opportunities and ...
Lire la suite >In this paper, some key fundamental aspects of Metal / Insulator / Semiconductor contacts as well as practical issues occurring with their implementation are reviewed in order to fully comprehend the opportunities and limitations of this approach.Lire moins >
Lire la suite >In this paper, some key fundamental aspects of Metal / Insulator / Semiconductor contacts as well as practical issues occurring with their implementation are reviewed in order to fully comprehend the opportunities and limitations of this approach.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :