Title :

H2S photoacoustic detection with an integrated THz gas sensor for food quality control
[Invited]

Author(s) :

Akiki, Elias [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mammez, Marie-Hélène [Auteur]
Laboratoire de Physico-Chimie de l'Atmosphère [LPCA]
Ducournau, Guillaume [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Vmicro SAS
Mouret, Gaël [Auteur]
Laboratoire de Physico-Chimie de l'Atmosphère [LPCA]
Lampin, Jean-Francois [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

City :

Chengdu

Country :

Chine

Start date of the conference :

2021-08-29

Book title :

2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

Journal title :

2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz)

Publisher :

IEEE

English keyword(s) :

membranes
microphones
photodetectors
silicon
submillimetre wave detectors
submillimetre wave measurement
terahertz wave detectors
chemical variables measurement
elemental semiconductors
food technology
gas sensors
hydrogen compounds

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electronique

English abstract : [en]

THz photoacoustic (PA) detection of H 2 S gas concentrations on the order of 200 ppm using a Poly-Si membrane as a PA microphone is reported. This result is a first step towards the demonstration of a fully integrated THz ...
Show more >THz photoacoustic (PA) detection of H 2 S gas concentrations on the order of 200 ppm using a Poly-Si membrane as a PA microphone is reported. This result is a first step towards the demonstration of a fully integrated THz PA gas sensor with an expected sensitivity of 10’s of ppb.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Comment :

oral session Spectroscopy/Gas phase spectroscopy 6

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL