Title :

High temperature gradient Pirani micro-sensor designed and tested for aerodynamic wall pressure measurement

Author(s) :

Ghouila-Houri, Cécile [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]
Arnoult, Thomas [Auteur]
ISEN Yncréa Ouest
Kazar Mendes, Munique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mazzamurro, Aurélien [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gallas, Quentin [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille - Kampé de Fériet [LMFL]
Garnier, Eric [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Merlen, Alain [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

IEEE Sensors Journal

Pages :

11248-11255

Publisher :

Institute of Electrical and Electronics Engineers

Publication date :

2022-06-15

ISSN :

1530-437X

English keyword(s) :

Aerodynamic wall pressure micro-sensor
MEMS
Pirani sensor
pressure sensor

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

English abstract : [en]

This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated ...
Show more >This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated from the substrate by a nanoscale gap, and mechanically supported by perpendicular micro-bridges. The micro-sensor was calibrated for pressure measurement from 10 kPa to 800 kPa. It was then used as aerodynamic wall pressure sensor in a turbulent boundary layer wind tunnel and successfully measured the 1.1 kPa depression occurring in the wind tunnel when the flow velocity goes up to 40 m/s.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT

Comment :

An earlier version of this paper was presented at the IEEE Sensors 2020 conference and was published in its Proceedings with the title “Aerodynamic wall pressure measurement using a high temperature gradient Pirani micro-sensor” (DOI: 10.1109/SENSORS47125.2020.9278842)

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL