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High temperature gradient Pirani micro-sensor ...
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Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1109/JSEN.2021.3110304
Title :
High temperature gradient Pirani micro-sensor designed and tested for aerodynamic wall pressure measurement
Author(s) :
Ghouila-Houri, Cécile [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]
Arnoult, Thomas [Auteur]
Kazar Mendes, Munique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mazzamurro, Aurélien [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gallas, Quentin [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille – Kampé de Fériet - UMR 9014 [LMFL]
Garnier, Eric [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Merlen, Alain [Auteur] refId
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
IEEE Sensors Journal
Pages :
11248-11255
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2022-06-15
ISSN :
1530-437X
English keyword(s) :
Aerodynamic wall pressure micro-sensor
MEMS
Pirani sensor
pressure sensor
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated ...
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This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated from the substrate by a nanoscale gap, and mechanically supported by perpendicular micro-bridges. The micro-sensor was calibrated for pressure measurement from 10 kPa to 800 kPa. It was then used as aerodynamic wall pressure sensor in a turbulent boundary layer wind tunnel and successfully measured the 1.1 kPa depression occurring in the wind tunnel when the flow velocity goes up to 40 m/s.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
ANR Project :
Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT
Comment :
An earlier version of this paper was presented at the IEEE Sensors 2020 conference and was published in its Proceedings with the title “Aerodynamic wall pressure measurement using a high temperature gradient Pirani micro-sensor” (DOI: 10.1109/SENSORS47125.2020.9278842)
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
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