Determination of the mechanical properties ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Determination of the mechanical properties of thin polyimide films deposited on a GaAs substrate by bulging and nanoindentation tests
Author(s) :
Poilâne, Christophe [Auteur]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, X. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, X. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Materials Science and Engineering: A
Pages :
101-106
Publisher :
Elsevier
Publication date :
1999-04
ISSN :
0921-5093
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Files
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-GH8S7663-6/fulltext.pdf?sid=hal
- Open access
- Access the document
- fulltext.pdf
- Open access
- Access the document