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Determination of the mechanical properties ...
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Document type :
Article dans une revue scientifique
DOI :
10.1016/S0921-5093(98)01002-8
Title :
Determination of the mechanical properties of thin polyimide films deposited on a GaAs substrate by bulging and nanoindentation tests
Author(s) :
Poilâne, Christophe [Auteur]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, X. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Materials Science and Engineering: A
Pages :
101-106
Publisher :
Elsevier
Publication date :
1999-04
ISSN :
0921-5093
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
Files
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