Title :

Determination of the mechanical properties of thin polyimide films deposited on a GaAs substrate by bulging and nanoindentation tests

Author(s) :

Poilâne, Christophe [Auteur]
Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique [CIMAP - UMR 6252]
Delobelle, P. [Auteur]
Bornier, L. [Auteur]
Mounaix, P. [Auteur]
Melique, X. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, D. [Auteur]
Dispostifs Opto et Micro Electronique - IEMN [DOME - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Materials Science and Engineering: A

Pages :

101-106

Publisher :

Elsevier

Publication date :

1999-04

ISSN :

0921-5093

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL