Title :

Study of a dual longitudinal and shear acoustic wave ZnO transducer in the gigahertz frequency range: application to viscosity measurement and first step for device integration

Author(s) :

Dahmani, Hatem [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Zaaroura, Ibrahim [Auteur]
Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique industrielles et Humaines - UMR 8201 [LAMIH]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Campistron, Pierre [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

IEEE International Conference on Design & Test of Integrated Micro & Nano-Systems (DTS 2019)

City :

Gammarth-Tunis

Country :

Tunisie

Start date of the conference :

2019-04-28

Publisher :

IEEE

English keyword(s) :

Transducers
Zinc oxide
II-VI semiconductor materials
Acoustic waves
Viscosity
Substrates

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]

English abstract : [en]

In this paper, we study a high frequency (~1GHz) ZnO transducer integrated within a silicon substrate, which generates in the same area, a compressional and a shear acoustic wave. These two kinds of waves can be used to ...
Show more >In this paper, we study a high frequency (~1GHz) ZnO transducer integrated within a silicon substrate, which generates in the same area, a compressional and a shear acoustic wave. These two kinds of waves can be used to characterize fluid-solid interfaces' properties in the same microscopic area and at the same time from the longitudinal and the shear reflection coefficients. The principle will be explained and validated using RF microprober. With this in mind, the shear and volume viscosity of a drop of water will be presented. Finally, we will propose a first example of electrical matching of the transducer in this high frequency range in order to promote, first, the longitudinal wave.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Comment :

Session 3-1 - RF DesignSBN 978-1-7281-1130-8 e-ISBN 978-1-7281-1129-2

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL