Développement de transducteurs à ondes acoustiques de surface (IDT-SAW) dédiés à la caractérisation ultrasonore des structures revêtues

Abstract

Les ondes de Rayleigh sont devenues très populaires dans le domaine des essais non destructifs par ultrasons en tant que moyen d’inspecter différentes structures. La présence de défauts, de contraintes résiduelles, et d’autres défauts matériels peuvent être détectés en analysant l’atténuation et la vitesse des ondes de Rayleigh lorsqu’elles parcourent la surface d’un échantillon. Les ondes de Rayleigh caractérisées par des longueurs d’onde plus longues devrait pénétrer plus profondément dans le matériau tandis que les longueurs d’onde les plus courtes restent proches de la surface. Ainsi, la vitesse des ondes en basses fréquences est plus influencée par le substrat tandis que la vitesse des ondes en hautes fréquences voit plus l’influence de la couche mince. La combinaison des paramètres mécaniques (E, ρ, ν, ep) entre deux matériaux permet d’obtenir la relation de dispersion pour une structure en couches. Ceci constitue la base de la caractérisation mécanique par ondes acoustiques de surface.