Title :

Application de la gravure plasma à la réalisation de composants micro-nanoélectroniques au sein de la centrale technologique de l’IEMN

Author(s) :

Pageau, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Legrand, Christiane [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Curley, Garrett [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Yarekha, Dmitri [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]

Conference title :

JNMO 2016

City :

Les Issambres

Country :

France

Start date of the conference :

2016-05-30

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Nationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL