Dry etching at IEMN

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Titre :
Dry etching at IEMN
Auteur(s) :
Yarekha, Dmitri [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Euronanolab Dry Etch Expert meeting
Ville :
Saclay
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2019-12
Date de publication :
2019-12
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Dry etching
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Non
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
poster
Collections :
Source :
Harvested from HAL