Development of a silicon substrate thinning ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/77014
Title :
Development of a silicon substrate thinning process for a flexible and self-sufficient neuroelectronic implant
Author(s) :
Chhuon, Chakrya-Anna [Auteur]
Moulet, Hélène [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vlandas, Alexis [Auteur] refId
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mariage, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Braud, Flavie [Auteur]
Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules - UMR 8523 [PhLAM]
Vanbesien, Christel [Auteur] refId
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN ]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Hoel, Virginie [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
IEEE Lille Engineering dor Medicine and Biology Conference
Conference organizers(s) :
IEEE Lille Student Branch
City :
Lille
Country :
France
Start date of the conference :
2022-04-26
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Non
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
ANR Project :
Plateforme de traitement laser pour l'électronique flexible multifonctionnelle
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2022-10-02T21:08:09Z
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  • https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03778069/file/Abstract%20IEEE.pdf
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