Nanometer Scale Lithography of Silicon and ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Nanometer Scale Lithography of Silicon and Titanium using Scanning Probe Microscopy
Author(s) :
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Fontaine, Paul-Aymeric [Auteur]
Conference title :
27th European Solid-State Device Research Conference - ESSDERC
City :
Stuttgart
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
1997-09-22
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL