IMPACT 1-2-3, an integrated 2D process/device ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
IMPACT 1-2-3, an integrated 2D process/device simulator for MOS technology
Author(s) :
Collard, Dominique [Auteur] refId
Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems [LIMMS]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Baccus, B. [Auteur]
Conference title :
Digest of the software forum: Software toold for process, device and circuit modeling, Ed. W. Crans, Boole Press
City :
Zurich
Country :
Suisse
Start date of the conference :
1989-06
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL