Fabricating Silicon Resonators for Analysing ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.3390/mi12121546
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/107944
Titre :
Fabricating Silicon Resonators for Analysing Biological Samples
Auteur(s) :
Kumemura, Momoko [Auteur]
The University of Tokyo [UTokyo]
Pekin, Deniz [Auteur] refId
Centre de Recherche Paul Pascal [CRPP]
Menon, Vivek Anand [Auteur]
Gunma University
Van Seuningen, Isabelle [Auteur] refId
Hétérogénéité, Plasticité et Résistance aux Thérapies des Cancers = Cancer Heterogeneity, Plasticity and Resistance to Therapies - UMR 9020 - U 1277 [CANTHER]
Collard, Dominique [Auteur] refId
Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems [LIMMS]
Tarhan, Mehmet-Cagatay [Auteur]
Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN [BIOMEMS - IEMN]
JUNIA [JUNIA]
Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems [LIMMS]
Titre de la revue :
Micromachines
Pagination :
1546
Éditeur :
MDPI
Date de publication :
2021
ISSN :
2072-666X
Mot(s)-clé(s) en anglais :
silicon
microelectromechanical systems
resonators
fabrication
biological applications
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Résumé en anglais : [en]
The adaptability of microscale devices allows microtechnologies to be used for a wide range of applications. Biology and medicine are among those fields that, in recent decades, have applied microtechnologies to achieve ...
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Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2024-02-17T03:30:48Z
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