Title :

Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li-Ion All Solid State Microbattery

Author(s) :

Létiche, Manon [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Eustache, Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Demortière, Arnaud [Auteur]
De Andrade, Vincent [Auteur]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Troadec, David [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Advanced Energy Materials

Pages :

1601402

Publication date :

2017

HAL domain(s) :

Chimie/Chimie inorganique

Language :

Anglais

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Administrative institution(s) :

ENSCL
Institut Catholique Lille
Université de Lille
ISEN
Univ. Valenciennes
CNRS
Centrale Lille
Univ. Artois

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
• Unité de Catalyse et Chimie du Solide (UCCS) - UMR 8181

Research team(s) :

Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Oxydes Innovants

Submission date :

2019-09-25T14:04:59Z
2019-10-22T10:42:38Z