Title :

Ir-Rh thin films as high-temperature electrodes for surface acoustic wave sensor applications

Author(s) :

Taguett, Amine [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Aubert, Thierry [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Lomello, Marc [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Legrani, Ouarda [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Elmazria, Omar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Ghanbaja, Jaafar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]

Journal title :

Sensors and Actuators A: Physical

Pages :

35-42

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2016-03

ISSN :

0924-4247

English keyword(s) :

Ir-Rh electrodes
multilayers film
SAW
high-temperature

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Micro-capteur à ondes élastiques de surface à base de structures AlN/Saphir pour des températures extrêmes

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL