Variation of absorption coefficient and ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.1063/1.2164390
Titre :
Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm
Auteur(s) :
Gaudet, Matthieu [Auteur]
Camart, Jean-Christophe [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Applied Physics Letters
Pagination :
024107
Éditeur :
American Institute of Physics
Date de publication :
2006-01-09
ISSN :
0003-6951
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL