Title :

SOI-based nanoelectrospray emitter tips for mass spectrometry: a coupled MEMS and microfluidic design

Author(s) :

Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ashcroft, Alison [Auteur]
University of Leeds
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Journal of Micromechanics and Microengineering

Pages :

509-514

Publisher :

IOP Publishing

Publication date :

2007-03-01

ISSN :

0960-1317

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL