Microelectromechanical System Comprising ...

Document type :
Brevet
Title :
Microelectromechanical System Comprising a Deformable Portion and a Stress Sensor
Author(s) :
Arscott, Steve [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Publication date :
2009-12-10
Patent number :
US20090301176A1
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Collections :
Source :
Harvested from HAL