Croissance de couches minces d'oxyde de ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Croissance de couches minces d'oxyde de cérium sur un substrat de silicium
Author(s) :
Ta, Minh-Tri [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Briand, David [Auteur]
Guhel, Yannick [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Bernard, Jérôme [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Conference title :
Congrès annuel de la Société Française de Physique
City :
Grenoble
Country :
France
Start date of the conference :
2007
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL