Titre :

Microelectromechanical variable-bandwidth if frequency filters with tunable electrostatical coupling spring

Auteur(s) :

Galayko, Dimitri [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Combi, Chantal [Auteur]
STMicroelectronics

Titre de la manifestation scientifique :

Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE The Sixteenth Annual International Conference on

Ville :

Kyoto

Pays :

Japon

Date de début de la manifestation scientifique :

2003-01-23

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Energie électrique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Electromagnétisme

Résumé en anglais : [en]

This paper describes the theory, design and test of a novel architecture of highly-selective micromechanical filters employing electrostatically coupled resonators with floating or biased coupling electrodes. This original ...
Lire la suite >This paper describes the theory, design and test of a novel architecture of highly-selective micromechanical filters employing electrostatically coupled resonators with floating or biased coupling electrodes. This original method avoids the use of mechanical coupling springs thus extending the potential of a given process to higher frequencies. It gives also the possibility to implement more complex filter architectures and to tune the coupling factor of resonators. Filters with 2.8 MHz and 10.6 MHz center frequency having tunable relative bandwidths of 0.025-0.17% have been built from pairs of clamped-clamped beam resonators. Special design techniques have been used to reduce parasitic capacitances on the coupling node.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL