Titre :

Influence of plasma treatments and SnO2 alloying on the conductive properties of epitaxial Ga2O3 films deposited on C-sapphire by chemical vapor deposition

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux

Langue :

Anglais

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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