Title :

An interferometric scanning microwave microscope and calibration method for sub-fF microwave measurements

Author(s) :

Dargent, Thomas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lasri, Tuami [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Clément, N. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ducatteau, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tanbakuchi, H. [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Review of Scientific Instruments

Pages :

123705

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2013

ISSN :

0034-6748

English keyword(s) :

Atomic force microscopy
Parasitic capacitance
Nanotechnology applications
Finite-element analysis
Interferometry
Vector network analyzer
MOS devices
Nanoparticles
Spectroscopy
Electrical characterization

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Physique [physics]/Physique [physics]/Optique [physics.optics]

English abstract : [en]

We report on an adjustable interferometric set-up for Scanning Microwave Microscopy. This interferometer is designed in order to combine simplicity, a relatively flexible choice of the frequency of interference used for ...
Show more >We report on an adjustable interferometric set-up for Scanning Microwave Microscopy. This interferometer is designed in order to combine simplicity, a relatively flexible choice of the frequency of interference used for measurements as well as the choice of impedances range where the interference occurs. A vectorial calibration method based on a modified 1-port error model is also proposed. Calibrated measurements of capacitors have been obtained around the test frequency of 3.5 GHz down to about 0.1 fF. Comparison with standard vector network analyzer measurements is shown to assess the performance of the proposed system.Show less >

Language :

Anglais

Popular science :

Non

ANR Project :

Centre expérimental pour l'étude des propriétés des nanodispositifs dans un large spectre du DC au moyen Infra-rouge.

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL