Micro-cantilevers pressure sensors

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Micro-cantilevers pressure sensors
Author(s) :
Mortet, V. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Potmesil, J. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
d'Olieslaeger, M. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur] refId
Vanecek, M. [Auteur]
Conference title :
International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008, NMC 2008
City :
Mainz
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2008
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL