Conception and fabrication of piezo-resistive ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MEMSYS.2012.6170180
Title :
Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe
Author(s) :
Xiong, Z. [Auteur]
Walter, B. [Auteur]
Mairiaux, E. [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2012
Book title :
Proceedings of 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
Publication date :
2012
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL