Magnetostatic micro-actuator based on ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MEMSYS.2012.6170368
Title :
Magnetostatic micro-actuator based on ultrasoft elastomeric membrane and copper-permalloy electrodeposited structures
Author(s) :
Streque, J. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur] refId
Bonnerot, C. [Auteur]
Pernod, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Conference title :
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2012
Book title :
Proceedings of 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012
Publication date :
2012
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL