Titre :

Characterization of nano-crystalline diamond films grown by continuous DC bias during plasma enhanced chemical vapor deposition

Auteur(s) :

Mortet, V. [Auteur]
Zhang, L. [Auteur]
Eckert, M. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
d'Haen, J. [Auteur]
Douheret, O. [Auteur]
Moreau, M. [Auteur]
Osswald, S. [Auteur]
Neyts, E. [Auteur]
Troadec, david [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wagner, P. [Auteur]
Bogaerts, A. [Auteur]
van Tendeloo, G. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

Materials Research Society Fall Meeting, MRS Fall 2009, Symposium J : Diamond electronics and bioelectronics - Fundamentals to applications III

Ville :

Boston, MA

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2009

Titre de l’ouvrage :

Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

Date de publication :

2009

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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