Dry etching process on a conducting ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Dry etching process on a conducting interpenetrating polymer network actuator for a flapping fly micro robot
Auteur(s) :
Khaldi, Alexandre [Auteur]
Plesse, Cedric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Cattan, Eric [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, F. [Auteur]
Chevrot, C. [Auteur]
Teyssie, D. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
Ville :
Denver, CO
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2011
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011
Date de publication :
2011
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL