Titre :

Production d'espèces par un plasma N2-xO2 et réactivité pour le dépôt de couches minces organosiliciées : étude en spectrométrie de masse

Auteur(s) :

Annusova, Adriana [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Comenius University in Bratislava
Foissac, Corinne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Veis, Pavel [Auteur]
Comenius University in Bratislava
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Journée Jeunes Chercheurs de l'Union de Génie des Procédés et de l'Energétique du Nord-Pas-de-Calais, UGéPE 2012

Ville :

Roubaix

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2012

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Français

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL