Realization of ultra dense arrays of ...
Type de document :
Article dans une revue scientifique: Article original
Titre :
Realization of ultra dense arrays of vertical silicon NWs with defect free surface and perfect anisotropy using a top-down approach
Auteur(s) :
Han, X.L. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Fazzini, Pier-Francesco [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Fazzini, Pier-Francesco [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]

Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
2622-2624
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2011
ISSN :
0167-9317
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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