Titre :

Realization of ultra dense arrays of vertical silicon NWs with defect free surface and perfect anisotropy using a top-down approach

Auteur(s) :

Han, X.L. [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Fazzini, Pier-Francesco [Auteur]
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [LAAS]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

MICROELECTRONIC ENGINEERING

Pagination :

2622-2624

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2011

ISSN :

0167-9317

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL