Title :

Optimization of PST thin films grown by sputtering and complete dielectric performance evaluation : an alternative material for tunable devices

Author(s) :

Lei, X.Y. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ponchel, Freddy [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Wang, G.S. [Auteur]
Dong, X.L. [Auteur]

Journal title :

Journal of the American Ceramic Society

Pages :

4323-4328

Publisher :

Wiley

Publication date :

2011

ISSN :

0002-7820

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL