Title :

Note: Fast and reliable fracture strain extraction technique applied to silicon at nanometer scale

Author(s) :

Passi, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bhaskar, U. [Auteur]
Pardoen, T. [Auteur]
Sodervall, U. [Auteur]
Nilsson, B. [Auteur]
Petersson, G. [Auteur]
Hagberg, M. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]

Journal title :

Review of Scientific Instruments

Pages :

116106-1-3

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2011

ISSN :

0034-6748

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL