Title :

Microsystème à fonction microélectrique et microfluidique et son procédé de fabrication

Author(s) :

Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Treizebre, Anthony [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laurette, Simon [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Country :

France

Publication date :

2012-06-01

Patent number :

FR2967991 (A1)

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20100059849 20101129 ; également publié en tant que : WO2012072917 (A1) 2012-06-07

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL