Titre :

Microsystème à fonction microélectrique et microfluidique et son procédé de fabrication

Auteur(s) :

Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Treizebre, Anthony [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laurette, Simon [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Pays :

France

Date de publication :

2012-06-01

Numéro du brevet :

FR2967991 (A1)

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Français

Commentaire :

n° de priorité : FR20100059849 20101129 ; également publié en tant que : WO2012072917 (A1) 2012-06-07

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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