4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips
Author(s) :
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011
City :
Cancun
Country :
Mexique
Start date of the conference :
2011-01-23
Book title :
Proceedings of 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011
Publication date :
2011
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the ...
Show more >We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the maximum of vibration are fabricated in batch process. After electrical and optical characterizations, chips supporting the resonator and the prominent tip are extracted from the wafer. Next, the AFM nanoprobes are integrated in a commercially available AFM set-up with a modified probe holder. Experimental results of high resonance frequency AFM images are presented.Show less >
Show more >We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the maximum of vibration are fabricated in batch process. After electrical and optical characterizations, chips supporting the resonator and the prominent tip are extracted from the wafer. Next, the AFM nanoprobes are integrated in a commercially available AFM set-up with a modified probe holder. Experimental results of high resonance frequency AFM images are presented.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :