Plasma polymer process for microfluidic ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49060
Title :
Plasma polymer process for microfluidic devices fabrication
Author(s) :
Abbas, A. [Auteur]
Bourzgui, N.E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, B. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Vivien, C. [Auteur]
Conference title :
36th IEEE International Conference on Plasma Science, ICOPS 2009
City :
San Diego, CA
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T17:16:54Z