Self-aligned single-electron memory ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Self-aligned single-electron memory fabrication based on Si/SiGe/Si heterostructures
Author(s) :
Tang, Xing [Auteur]
Ravaux, F. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kasper, E. [Auteur]
Alim, K. [Auteur]
Nicolas, R. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Ravaux, F. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kasper, E. [Auteur]
Alim, K. [Auteur]
Nicolas, R. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Conference title :
35th International Conference on Micro & Nano Engineering, MNE 2009
City :
Ghent
Country :
Belgique
Start date of the conference :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :