Polymérisation par plasma pour la fabrication ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Polymérisation par plasma pour la fabrication de circuits microfluidiques
Author(s) :
Abbas, Abdennour [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vivien, Celine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Supiot, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
BOURZGUI, Nour-Eddine [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bocquet, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Guillochon, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
XIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés
City :
Marseille
Country :
France
Start date of the conference :
2009-10-14
Book title :
Actes du XIIème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés
Publisher :
_
Publication date :
2009
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL